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產品詳情

  • 產品名稱：顯微圖像光譜可視化測厚儀

  • 產品型號：0.1nm膜厚儀
  • 產品廠商：Kakuhunter寫真化學
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
顯微圖像光譜可視化測厚儀北崎熱賣，這是一種可以通過顯微圖像光譜可視化透明多層膜的膜厚分布的膜厚計
詳情介紹：

這是一種可以通過顯微圖像光譜可視化透明多層膜的膜厚分布的膜厚計。
由于薄膜厚度是通過光學干涉法計算的，因此
薄膜厚度分布可以以 0.1 nm 或更低的分辨率以 3D 形式顯示。

  • 多晶硅結晶度的評價
    •  
  • 多孔膜的密度評估
  1. 薄膜厚度分布的原位可視化
    • 在顯微鏡視場中測量任意區域的薄膜厚度和薄膜質量分布
      ，并以 3D 形式顯示分布
  2. 膜厚測量分辨率：0.1 nm 或更小
    • 分辨率與可見光波長光學涂層測厚儀相當
    • 波長范圍從 450 nm 到 750 nm，可以 1 nm 的增量指定
  3. 高速、多層同時測量 9 層
    • 使用與反射膜厚度監視器相同的計算引擎進行并行計算

    應用實例

    1. （1） 數百層重復層壓薄膜和溝槽等復合結構
    2. （2） 用 EMA（有效介質近似）法估計亞微米圖案的密度
    3. （3） 局部結晶度評估
  1. 通過物鏡和面積規格測量任意面積的膜厚分布
    • 您可以根據工件和應用選擇物鏡

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