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產品名稱：擴散爐用ENERGY氧氣分析儀
產品型號：TF-21D201
產品廠商：ENERGY
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簡單介紹：

擴散爐用ENERGY氧氣分析儀TF-21D201 北崎正在熱賣

詳情介紹：

擴散爐用ENERGY氧氣分析儀TF-21D201

TF-21D201/SH-30 系列

TF-21 傳感器 / DTF-201 接收器

型號 SH-304

可分離的傳感器和接收器
重量輕、結構緊湊可集成到設備中
低濃度（0-10ppm 范圍）

TF-21 傳感器 / DTF-201 接收器

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型號 SH-304

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用法

半導體制造設備：擴散爐、RTP、各種_N2 爐氣氛測量、空氣分離設備

規格

形式		TF-21D201 （TF-21型傳感器 + DTF-201型接收器）
傳感器		TF-21 系列
接收器		DTF-201 系列
測量原理		氧化鋯燈罩電池工法
測量范圍		小 0-10ppm ~ 大 0-100% 零點固定，任意 4 個范圍可選
校對		空氣點 + MAX.4 點校準
強度		DC4~20mA × 1 點（非隔離輸出，負載電阻 600Ω 以下） DC0~1V 或 DC0~5V 或 DC0~10V × 1 點選擇（非隔離輸出）
樣氣 / 校準氣體流速		0.5±0.02升/分鐘
準確性	重復性	±1%FS （小于 0~1% 范圍） ±0.5%FS （高于 0~1% 范圍）
準確性	線性	±1%FS （0~1% 以上） ± 2%FS （小于 0~1%） ±3%FS （小于 0~100ppm）
響應時間		0-1% 或更高：10 秒或更短 0-1% 或更短：30 秒或更短 * 校準氣體切換的 90% 響應
漂移		±2%FS/周或更低
電源		AC85~132V *選項：AC170~264V，DC24V±10%
聯系人輸入（非電壓觸點輸入）		范圍切換輸入
觸點輸出（集電極開路輸出，25 VDC，*大 50 mA NO/NC 可切換）		分析儀異常范圍回聲（2 個量程識別）范圍回聲（3 個量程識別） READY 濃度上限警報（0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置）濃度下限警報（0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置） * 可從上述選項中選擇 4 個點，并可以更改設置。
范圍切換		本地范圍切換 / 遠程范圍切換 / 自動范圍切換 * 您可以從上述設置中選擇和更改設置。
輸出 HOLD 設置		無或任意值或 HOLD 在異常發生前 5 秒的值 * 預熱、傳感器和接收器異常時 HOLD
濃度上限和下限警報		上限警報：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置下限警報：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置
RS232C 通訊功能		傳輸測量狀態、錯誤代碼、測量范圍和測量值通信電纜規格：直線電纜

形式		SH-304 型
傳感器		TF-21 系列
接收器		DTF-201 系列
測量原理		氧化鋯燈罩電池工法
測量范圍		0-10 / 100 / 1,000ppm，0-100% *小 0-10ppm ~ 大 0-100% 零點固定，可任意 4 個范圍
校對		空氣點 + MAX.4 點校準
強度		DC4~20mA × 1點（非隔離輸出、負載電阻600Ω以下） DC0~1V × 1點（非絕緣輸出）
樣氣 / 校準氣體流速		0.3±0.05 升/分鐘
準確性	重復性	±1%FS （小于 0~1% 范圍） ±0.5%FS （高于 0~1% 范圍）
準確性	線性	±3%FS （小于 0~100ppm） ±2%FS （小于 0~1%） ±4%FS （0~1% 或更高）
響應時間		0-1% 或更高：10 秒或更短 0-1% 或更短：30 秒或更短 * 校準氣體切換的 90% 響應
漂移		±2%FS/周或更低
電源		直流24V±10%
聯系人輸入（非電壓觸點輸入）		范圍切換輸入
觸點輸出（集電極開路輸出，25 VDC，*大 50 mA NO/NC 可切換）		分析儀異常 READY 濃度上限警報（0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置）濃度下限警報（0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置）范圍回聲（2 個范圍識別）范圍回顯（3 范圍識別） * 前 4 項是標準項，后 2 項也可以更改。
范圍切換		自動量程切換 * 也可以選擇遠程量程和本地量程切換，并且可以更改設置。
輸出 HOLD 設置		HOLD 在異常發生前 5 秒的值 * HOLD * 傳感器和接收器異常時保持 * 無 HOLD，任何值都可以選擇 HOLD。
濃度上限和下限警報		上限警報：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置下限警報：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置
RS232C 通訊功能		傳輸測量狀態、錯誤代碼、測量范圍和測量值通信電纜規格：直線電纜

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