光刻膠溶液和 SOG 中的顆粒可以在 0.1 μm 范圍內測量

• 可連接到多點監控系統

• 規范

  光學系統方式	橫向散射法
  光源	用半導體激光器泵浦的固體激光器（波長 532 nm，額定功率 500 mW）
  接液材料	合成石英，PFA
  粒度分類	0.1 μm ~ 0.5 μm 范圍內的 10 個級別（可選 0.07 μm，用于純水等透明液體） 運輸：0.1 μm 或更高、0.15 μm 或更高、0.2 μm 或更高、0.3 5 個 ≥ μm 和 ≥ 0.5 μm 的水平
  額定流量	5 毫升/分鐘
  *大顆粒計數濃度	9,600 單位/mL（計數丟失在 10% 以內）
  權力	DC12 V（由 KE-40B1 供電）
  大小	約 164 毫米（水平）× 464 毫米（寬）× 305 毫米（深）毫米（不包括突出部分）
  重量	約 12.5 kg

  RION理音 液體粒子計數器 KS-41B 系列
• RION理音 液體粒子計數器 KS-41B 系列