光刻膠溶液和 SOG 中的顆粒可以測(cè)量 0.15 μm 以上的顆粒

• 可連接到多點(diǎn)監(jiān)控系統(tǒng)

• 規(guī)范

  光學(xué)系統(tǒng)方式	橫向散射法
  光源	二極管激光器（波長(zhǎng) 830 nm，額定功率 200 mW）
  接液材料	合成石英，PFA
  粒度分類(lèi)	0.15 μm ~ 0.5 μm 范圍內(nèi)的 10 個(gè)級(jí)別運(yùn)輸：0.15 μm、0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm 或更高的 4 個(gè)級(jí)別
  額定流量	10 毫升/分鐘
  *大顆粒計(jì)數(shù)濃度	1,200 單位/mL（計(jì)數(shù)丟失在 5% 以?xún)?nèi)）
  權(quán)力	DC12 V（由 KE-40B1 供電）
  大小	約 160 毫米（水平）× 300 毫米（寬）× 251 毫米（深）毫米（不包括突出部分）
  重量	約 7.5 kg

  RION理音 液體粒子計(jì)數(shù)器 KS-41A
• RION理音 液體粒子計(jì)數(shù)器 KS-41A