應答時間200msec的超高速質量流量控制器（MFC）。
通過使用熱傳感器，實現100msec(typical)高速流量控制。使用LINTEC**的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥，可實現腐蝕性氣體的超高速流量控制。
流量精度可達到±1.0％S.P.，數字通信方式可選擇DeviceNet或EtherCAT。
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- AND艾安得
產品詳情
簡單介紹：
Lintec 林泰克 高速應答質量流量控制器 MC-7000,北崎有售，歡迎咨詢。
詳情介紹：
高速應答質量流量控制器MC-7000
產品特點
- 超高速流量控制200msec
- 精度±1%S.P.
- 使用溫度5～50℃
- 金屬密封材
- 無塵（粒子標準監控）
- 周圍溫度補償傳感器
- 支持EtherCAT通訊方式
- 支持DeviceNet?通訊方式
超高速流量制御
使用范例
快速刻蝕工藝
在半導體制造工藝中，在微細化的同時還需要提高產量。對于控制反應氣體流量的質量流量控制器來說，縮短流量控制開始(啟動)時間的需求日益增加。超高速質量流量控制器【MC-7000】因為使用了非接觸式熱式流量傳感器，流量傳感器與流量測量氣體不接觸，可實現200msec的超高速響應。同時，因為非接觸式的特點，該流量控制器可用于測量腐蝕性氣體。
產品規格表
| 溫度 | *小壓差 | *大壓差 | 精度 | 控制范圍 | *小F.S. | *大F.S. | 密封材 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 20SLM | Au |
產品留言
