精度范圍±1%S.P.的高性能數字式質量流量計。
與傳統傳感器相比,可以在更低的溫度下以更高的精度測量質量流量,因此壽命更長。可對應容易被高溫熱分解的氣體,如O3。

特點
- 精度范圍±1%S.P.
- 使用溫度5~50℃
- 金屬密封件
- 無塵生產(粒子標準監控)
- 環境溫度補足式質流傳感器
- RS-485通訊接口
規格表
| 溫度 | 壓力規格 | 精度 | *小F.S. | *大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 400kPa(D)以下 | ±1%S.P. | 5SCCM | 250SLM | Au |
精度范圍±1%S.P.的高性能數字式質量流量計。
與傳統傳感器相比,可以在更低的溫度下以更高的精度測量質量流量,因此壽命更長。可對應容易被高溫熱分解的氣體,如O3。

| 溫度 | 壓力規格 | 精度 | *小F.S. | *大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 400kPa(D)以下 | ±1%S.P. | 5SCCM | 250SLM | Au |