耐高溫質量流量控制器MC-3000L-TC
氣體流量控制的*高使用溫度120℃、非通電狀態下使用溫度可高達150℃的耐高溫質量流量控制器。
通過將高溫氣體接觸部分與不耐熱的基板部分分離，可以實現高溫環境下的氣體控制。
接氣體加熱模塊采用不銹鋼材料SUS-316L，密封材料采用Au，可對應腐蝕性氣體。
在標準配置基礎上，還可選配防止液化氣體再次液化的低壓差規格，以及接觸氣體部分專用加熱模塊。
耐高溫質量流量控制器
【MC-3000L-TC】

特點
使用溫度Max120℃
金屬密封件
無塵生產（粒子標準監控）
RS-485數字通訊接口
選配規格
液化氣體
加熱模塊
使用范例
液化氣體、升華氣體流量控制
CVD（化學氣相沉積法）和 ALD （原子層沉積法）中所使用的氣源不**于常溫常壓下的氣體，也可能是常溫常壓下的液體或固體原料。液體和固體在常溫條件下產生的氣體較少，很難利用壓差原理來控制流量。因此，MFC的工作壓力是通過加熱原料罐并增加蒸汽壓力以產生壓差來確保的。MC-3000L-TC能夠進行高溫控制和低壓差工作，是液化和揮發性氣體流量控制的理想選擇。
簡 介
MC-3000L-TC 系列是可適用*高溫度達 120℃的質量流量控制器特 點
可用于 120℃高溫環境下操作
采用標準 RS-485 數字通訊接口
搭配 LINTEC **的環境溫度補償式質流傳感器
內置微處理器提高處理效能
控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構造所組成采用高速度，高性能的壓電控制閥
使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護性提高采用金屬外殼以及各種濾波器，在高磁噪音及直流磁場的環境下亦能維持其安定性