具有雙流體噴嘴和大型汽化室的高效率汽化器。
搭載液體噴嘴和載氣噴嘴（0.8~180SLM），該雙流體噴嘴結構可實現高效汽化。與VU-430相比，通過增加汽化室的體積，對流時間和熱交換面積得到改善，使大流量汽化成為可能。
該汽化器為閥門集成汽化器，若與LM-3000L結合使用，可直接控制即將進入汽化器的液體流量，從而提高氣體流量控制的應答速度。
特點
- 高効率汽化
- 維護成本低
- 汽化室附近搭載液體流量控制閥
使用范例
大流量汽化
通過對汽化室進行增擴，從中央雙流體噴嘴噴出的霧氣比VU-430擴散得更多，可以穩定地實現液體為TEOS時20g/min、H2O時5g/min的大流量汽化。
規格表
| *高溫度 | 載氣流量 | *大H2O汽化流量 | *大TEOS汽化流量 | 密封件 |
| 200℃ | 0.8~130SLM | 5g/min | 20g/min | Au |
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