真空泄壓閥

對腔室進行排氣時，當超過大氣壓時，**閥會自動釋放壓力，這樣腔室就不會因排氣而過壓。

特征

• 01. 帶單浮雕功能的 R-N16 和帶排氣功能的 VR-N16 系列
• 02. 保護真空計等真空設(shè)備免受超壓影響，以防止損壞和人身傷害
• 03. 開啟壓力可通過旋鈕的旋轉(zhuǎn)量進行調(diào)整
• 04. 連接法蘭可安裝一鍵式卡箍 NW16

規(guī)格

法蘭	R-N16 系列	VR-N16 系列
開啟壓力調(diào)節(jié)范圍 *1	0.115 ~ 0.170 MPa （**壓強）
連接法蘭	西北 16
卸貨口（溢流口）	RC1/8
氣體接觸材料	鋁合金
閥體填料	氟橡膠 O 型圈
泄漏量	1×10-8 Pa?m3/s 或更低
使用區(qū)域	0.2 MPa ~ 10-5 Pa （**壓強）
極限溫度	70 攝氏度
質(zhì)量	0.3 千克	0.4 千克
排氣功能
進氣口	―	RC1/8
閥體填料	―	氟橡膠 O 型圈
軸封	―	氟橡膠 O 型圈
氣缸類型	―	單作用 （N.C.）
壓縮空氣出口	―	M5 系列
氣壓要求	―	0.4~0.6 MPa 克

* 開啟壓力調(diào)節(jié)范圍存在約 8% 的個體差異。

* 此規(guī)格如有更改，恕不另行通知。