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產品詳情
  • 產品名稱:Kashiyama樫山工業 干式真空泵

  • 產品型號:SDL20E50
  • 產品廠商:Kashiyama樫山工業
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
Kashiyama樫山工業 干式真空泵 SDL20E50,北崎有售,歡迎咨詢。
詳情介紹:

Kashiyama樫山工業 干式真空泵 SDL20E50

Kashiyama樫山工業 干式真空泵 SDL20E50



SDL 系列

與大直徑晶圓和 FPD 牢固兼容通過組合可實現大位移。 我們還可以響應 150,000 L/min 或更高的請求。 通過高速排氣縮短節拍時間 通過確保大氣排氣速度,通過高速排氣縮短大型負載鎖室的節拍時間。

還提供溶劑排氣規格,因此請聯系我們

主型號

規格/型號 SDL12E50 SDL20E50 SDL36E60 SDL3600
*大抽速 [L/min] *1 25,000 40,000 60,000 60,000
干泵*大抽速 [L/min] *1 8,000 8,000 10,000 12,500
極限壓力 [Pa] *1 0.8
電源電壓 (50/60Hz) 三相 AC200~220V, 380~440V
外部尺寸 [mm] 長×寬×高 1000×520×1050 元 票價:1370×850×1295 1370×600×1295 元
重量 [kg] 645 800 920 950

*1. N2這是不使用**時的值。
*請聯系我們以獲取有關海外標準遵守的信息。 規格和型號名稱如有更改,恕不另行通知。
*根據泵的配置,可提供其他類型。 請聯系我們的銷售團隊了解詳情。

排氣性能曲線

排氣性能曲線




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