可確保精度范圍在±1%S.P.（設定值）的高性能數字通訊質量流量控制器。
搭配LINTEC**的環境溫度補足式質流傳感器，即使在低溫下也能實現高精度的流量測量。 它可抑制由于傳感器受熱而導致的老化劣化，可以對臭氧等高度可降解的氣體進行流量控制。
可搭載的選配規格包括：液化氣體、小流量 F.S.、大流量范圍、表面實裝和接頭名稱。
特點
- 精度范圍±1%S.P.
- 使用溫度5~50℃
- 金屬密封件
- 無塵生產（粒子標準監控）
- 周圍溫度補償式傳感器
- RS-485數字通訊接口
選配規格
- 小流量F.S.
- 液化氣體
- 大流量范圍
使用范例
半導體生產前端工藝
由于CVD（化學氣相沉積法）、ALD（原子層沉積法）鍍膜設備和蝕刻設備中使用高活性氣體，因此具有高耐腐蝕性金屬密封的氣體質量流量控制器至關重要。
此外，前驅體在常溫常壓下含有大量液化氣體，因此具有耐熱性且不易液化的閥門結構很重要。 選擇LINTEC高性能質量流量控制器MC-3000L，則可選配【液化氣體】【*高工作溫度50°C（可選至55°C）】等相應規格。
分析設備
分析設備可能需要控制極小流量，但一般質量流量控制器的*小F.S.為5SCCM，因此無法對應。 MC-3000L高精度質量流量控制器可選配F.S.1SCCM或更低流量范圍。
此外，高性能質量流量控制器MC-3000L還標配死體積較小的隔膜閥。
詳情請致電或郵件咨詢。
規格表
| 溫度 | *下壓差 | *大壓差 | 精度 | 控制范圍 | *小F.S. | *小F.S. | 密封件 |
| 5～50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 400SLM | Au |
※此表僅表示一般規格的MFC。 根據選配規格變化。
