精度范圍±1%S.P.的高性能數字式質量流量計。

搭載LINTEC**的環境溫度補足式質流傳感器,可實現高速測量。

與傳統傳感器相比,可以在更低的溫度下以更高的精度測量質量流量,因此壽命更長??蓪菀妆桓邷責岱纸獾臍怏w,如O3。

MM-3000L

特點

  • 精度范圍±1%S.P.
  • 使用溫度5~50℃
  • 金屬密封件
  • 無塵生產(粒子標準監控)
  • 環境溫度補足式質流傳感器
  • RS-485通訊接口

規格表

溫度 壓力規格 精度 *小F.S. *大F.S. 密封件
5~50℃ 400kPa(D)以下 ±1%S.P. 5SCCM 250SLM Au

※此表僅表示一般規格的MFM。特別定制規格請詳細咨詢LINTEC。